在半導體工業(yè)中，超純水被用在晶圓的清潔和蝕刻上。尤其是晶圓殘渣，它是造成晶圓工廠中超純水大量消耗的主要原因。在制藥工業(yè)中，高純度的水可以做為產品的成分之一，也可以在生產加工中使用。潔凈室洗燙業(yè)盡管只占整個超純水市場的一小部分份額，但是在潔凈室市場中，他們卻是超純水的一個主要用戶。其他對超純水有使用要求的工業(yè)領域包括液晶顯示器、生物技術以及實驗室業(yè)務。

　　超純水是利用提純技術將市政用水在現場提純，減少其中的污染物濃度，例如，溶解固體和離子，特別是導致水質過硬的成分，如鈣和鎂等。

　　在先進國家購買凈水設備時，廠商會隨機附送安裝及操作、維護手冊，民眾僅需依照手冊上所說明的事項操作即可。而認證單位(在美國是國家衛(wèi)生基金會，NSF)會依照凈水設備種類及其相關文件進行測試，合于標準的凈水設備才給予認證。在國內則應以通過中國國家標準方法(CNS)的認證才是好的凈水設備，且民眾應找具有完善操作及維護手冊及良好售后服務的凈水設備廠商購買凈水設備。

　　每一種凈水設備均非萬能，購買前應先了解凈水設備功能與當地自來水的水質狀況，以免浪費金錢而又得不到預期的效果。例如某些水質并不適用于逆滲透法，在水中含氯或鐵過高，可能會造成薄膜受損。又如果水中含鐵過高，則會損及紫外線殺菌凈水設備的效果。此外，使用凈水設備時進水溫度應避免過高，許多凈水設備或濾心在溫度高時，處理效果變差，材料也會受損并減少使用壽命。在新使用的濾心型凈水設備或凈水單元時(包括活性碳凈水設備及陽離子交換樹脂軟水器)應先使用清水浸泡過至少15分鐘以上，或以清水沖洗，以去除濾心中之雜質。以逆滲透凈水系統(tǒng)而言，前置活性碳濾心及逆滲透膜各約需使用20公升左右的水沖洗，以去除碳粒及逆滲透膜保存液。