超純水又稱高純水，是指將水中的導電介質幾乎全部去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體和有機物均去除至很低程度的水，。超純水的含鹽量在0. 1mg/L以下,電導率小于0. 1μs/cm。 

超純水除了對含鹽量或電導率有嚴格要求外，對水中各種金屬離子含量，有機物含量、微粒粒徑及數(shù)量和微生物數(shù)量也有嚴格指標限制。