1. 招標(biāo)條件
本招標(biāo)項(xiàng)目高精度光學(xué)膜厚測量系統(tǒng)（項(xiàng)目名稱）的招標(biāo)人為中國航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所，招標(biāo)項(xiàng)目資金來自國撥資金。該項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件，現(xiàn)進(jìn)行國內(nèi)公開招標(biāo)。
2. 項(xiàng)目概況與招標(biāo)范圍
2.1 招標(biāo)編號(hào)：TC2412PP1
2.2 項(xiàng)目名稱：高精度光學(xué)膜厚測量系統(tǒng)
2.3 數(shù)量：1套
2.4 技術(shù)規(guī)格：高精度光學(xué)膜厚測量設(shè)備，由橢偏儀部分和測控計(jì)算機(jī)部分組成。橢偏儀部分實(shí)現(xiàn)待測材料光學(xué)信息采集，包括光學(xué)雙臂（起偏臂，檢偏臂）、光源、多維樣品臺(tái)、微區(qū)可視相機(jī)、激光找平系統(tǒng)等。計(jì)算機(jī)部分控制橢偏儀操作與數(shù)據(jù)處理，包含數(shù)據(jù)分析軟件與材料庫。本設(shè)備用于快速無損精確獲取單層、多層各向同性/各向異性微納級(jí)別光學(xué)薄膜的折射率、膜厚和均勻性等光學(xué)參數(shù)信息測量表征。波長測量范圍：210nm-1690nm；厚度重復(fù)性優(yōu)于0.05nm。更多指標(biāo)詳見第五章供貨要求。
2.5 交貨地點(diǎn)：用戶現(xiàn)場指定地點(diǎn)。
2.6 交貨期：合同簽字并蓋章生效后3個(gè)月內(nèi)（含包裝運(yùn)輸、現(xiàn)場安裝、調(diào)試、培訓(xùn)等，達(dá)到交付與驗(yàn)收狀態(tài)）
3. 投標(biāo)人資格要求