等離子增強化學(xué)氣相沉積專用干泵(二次招標)招標公告
1.招標條件 
本招標項目等離子增強化學(xué)氣相沉積專用干泵(二次招標),招標人為武漢天馬微電子有限公司上海分公司，招標項目資金已落實，該項目已具備招標條件，現(xiàn)對等離子增強化學(xué)氣相沉積專用干泵(二次招標)進行公開招標。
2.項目概況與招標范圍 
項目概況與招標范圍：等離子增強化學(xué)氣相沉積專用干泵 14臺（Non-Harsh：10臺、Harsh：4臺） 
招標編號：0730-254010020011-06
包名稱：等離子增強化學(xué)氣相沉積專用干泵(二次招標)
數(shù)量：14臺（Non-Harsh：10臺、Harsh：4臺）
簡要技術(shù)要求：
（1）干泵主要為面板行業(yè)化學(xué)氣象沉積機的配套抽真空設(shè)備；
（2）平均故障間隔時間：Non-Harsh≥10000H，Harsh≥25000H,投標文件中需要提供說明資料；
（3）抽氣能力要求，投標人需在投標文件中提供說明資料。