招標(biāo)公告

1. 招標(biāo)條件

本招標(biāo)項(xiàng)目氧化膜CMP設(shè)備招標(biāo)人為中國電子科技集團(tuán)公司第二十四研究所，招標(biāo)項(xiàng)目資金來自國撥資金，出資比例為100%。該項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件，現(xiàn)對氧化膜CMP設(shè)備進(jìn)行國內(nèi)公開招標(biāo)。

2. 項(xiàng)目概況與招標(biāo)范圍

2.1 招標(biāo)編號：ZKX20250429A005

2.2 招標(biāo)項(xiàng)目名稱：氧化膜CMP設(shè)備 。

2.3 數(shù)量：1臺。

2.4 主要功能要求：該設(shè)備為國產(chǎn)全新8寸氧化膜CMP設(shè)備，自帶SMIF（或同類裝置），RFID及EAP通訊功能，配置四研磨頭，三或四研磨臺設(shè)計(jì)，具備CMP、HF&氨水&雙氧水清洗、甩干等功能，可用于氧化膜和多晶硅CMP。

2.5 交貨地點(diǎn)：重慶沙坪壩西永微電園西永大道23號中國電子科技集團(tuán)公司第二十四研究所項(xiàng)目現(xiàn)場。

2.6 交貨期：合同生效后120天。

3. 投標(biāo)人資格要求

3.1投標(biāo)人須為具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力的在中華人民共和國境內(nèi)注冊的法人或其他組織，具備有效的營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書或其它營業(yè)登記證書。