公布日：2023.10.13
申請日：2023.08.17
分類號：C02F9/00(2023.01)I;C02F1/00(2023.01)N;C02F1/04(2023.01)N;C02F1/32(2023.01)N;C02F1/42(2023.01)N;C02F1/44(2023.01)N;C02F1/469(2023.01)N;C02F1/
66(2023.01)N;C02F103/04(2006.01)N
摘要
本申請?zhí)峁┝艘环N半導(dǎo)體行業(yè)酸堿廢水的回收利用系統(tǒng)，通過設(shè)置包括依次連接的廢水回收模塊、回用水池、原水池、過濾模塊和凈化模塊的半導(dǎo)體行業(yè)酸堿廢水的回收利用系統(tǒng)，對半導(dǎo)體企業(yè)處理后的廢水進(jìn)行處理，得到能夠回收利用的純水，與相關(guān)技術(shù)中半導(dǎo)體企業(yè)一般將廢水經(jīng)處理后排往城市污水處理廠的方式相比，可以對半導(dǎo)體企業(yè)處理后的廢水進(jìn)行處理并回收利用，減少環(huán)境污染的同時實(shí)現(xiàn)了廢水的資源化回收利用，具有綠色環(huán)保節(jié)能的優(yōu)點(diǎn)。
權(quán)利要求書
1.一種半導(dǎo)體行業(yè)酸堿廢水的回收利用系統(tǒng)，其特征在于，包括：依次連接的廢水回收模塊、回用水池、原水池、過濾模塊和凈化模塊；所述廢水回收模塊，對酸堿廢水進(jìn)行處理，得到回用水，并將所述回用水輸送到所述回用水池；所述回用水池，將回用水池輸送到所述原水池中；所述原水池，能夠?qū)λ鲈刂械乃龌赜盟托迈r原水進(jìn)行均勻，得到混合自來水，并將得到的所述混合自來水輸送到所述過濾模塊中進(jìn)行過濾；所述過濾模塊，能夠?qū)λ龌旌献詠硭M(jìn)行過濾，得到過濾后的混合自來水；所述凈化模塊，能夠?qū)λ鲞^濾后的混合自來水進(jìn)行凈化，得到超純水。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述廢水回收模塊，包括：依次連接的中和單元、中間水池、過濾系統(tǒng)以及第一反滲透系統(tǒng)；所述第一反滲透系統(tǒng)，還與所述回用水池連接；所述中和單元，能夠?qū)λ釅A廢水的PH值進(jìn)行調(diào)節(jié)，得到PH值調(diào)節(jié)后的廢水，并將得到的所述PH值調(diào)節(jié)后的廢水輸送到所述中間水池；所述過濾系統(tǒng)，對所述中間水池的出水進(jìn)行預(yù)過濾，得到預(yù)過濾的廢水；所述第一反滲透系統(tǒng)，能夠?qū)λ鲱A(yù)過濾后的廢水進(jìn)行處理，降低預(yù)過濾后的廢水的無機(jī)鹽濃度，并去除所述預(yù)過濾后的廢水的有機(jī)物，得到回用水，并將得到的所述回用水輸送到所述回用水池。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括：蒸發(fā)結(jié)晶裝置；所述蒸發(fā)結(jié)晶裝置，分別與所述第一反滲透系統(tǒng)和所述回用水池連接；除了所述回用水之外，所述第一反滲透系統(tǒng)還產(chǎn)生濃水，所述第一反滲透系統(tǒng)將產(chǎn)生的濃水輸送到所述蒸發(fā)結(jié)晶裝置；所述蒸發(fā)結(jié)晶裝置，利用蒸發(fā)結(jié)晶的方式對所述濃水進(jìn)行處理，將所述濃水中的鹽分和水進(jìn)行分離，得到回用水，并將得到的所述回用水輸送到所述回用水池中。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述中和單元，包括：加藥泵和中和反應(yīng)池；所述加藥泵、所述中和反應(yīng)池、所述中間水池依次連接；所述加藥泵，能夠向所述中和反應(yīng)池的酸堿廢水中加入酸或者堿；所述中和反應(yīng)池，對加藥泵加入的酸或者堿與所述酸堿廢水進(jìn)行攪拌，對所述酸堿廢水的PH值進(jìn)行調(diào)節(jié)，得到PH值調(diào)節(jié)后的廢水，并將得到的所述PH值調(diào)節(jié)后的廢水輸送到所述中間水池。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述過濾模塊，包括：依次連接的超濾系統(tǒng)、換熱系統(tǒng)、保安過濾器、第二反滲透系統(tǒng)、反滲透產(chǎn)水箱；所述超濾系統(tǒng)，還與所述原水池連接，所述反滲透產(chǎn)水箱，還與所述凈化模塊連接；所述超濾系統(tǒng)，能夠?qū)λ龌旌献詠硭械膽腋∥�、膠體、微生物進(jìn)行去除，得到超濾處理后的混合自來水；所述換熱系統(tǒng)，能夠?qū)Τ瑸V處理后的混合自來水進(jìn)行加熱，得到加熱后的混合自來水；保安過濾器，能夠?qū)訜岷蟮幕旌献詠硭M(jìn)行處理，去除所述加熱后的混合自來水中的無機(jī)鹽和有機(jī)物；第二反滲透系統(tǒng)，能夠?qū)λ霰０策^濾器處理后的混合自來水進(jìn)行處理，繼續(xù)降低所述混合自來水的無機(jī)鹽濃度，并再次去除所述混合自來水的有機(jī)物，得到反滲透處理后的混合自來水，并將得到的所述反滲透處理后的混合自來水輸送到所述反滲透產(chǎn)水箱中。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述凈化模塊，包括：依次連接的UV反應(yīng)器、EDI裝置、超純水箱、以及TOC-UV裝置；所述UV反應(yīng)器，還與所述反滲透產(chǎn)水箱連接；所述UV反應(yīng)器，能夠?qū)Ψ礉B透產(chǎn)水箱的出水進(jìn)行殺菌處理，得到殺菌處理后的混合自來水；所述EDI裝置，能夠去除所述殺菌處理后的混合自來水中的雜質(zhì)，得到超純水，并將所述超純水輸送到所述超純水箱中；所述TOC-UV裝置，能夠?qū)λ龀兯涞某鏊M(jìn)行氧化降解，得到氧化降解后的超純水。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括：與所述TOC-UV裝置連接的拋光混床；所述拋光混床，對所述氧化降解后的超純水進(jìn)行純化處理。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其特征在于，在所述超純水箱內(nèi)通入氮?dú)猓瑢⑺龀兯鋬?nèi)的超純水與空氣隔絕。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述第一反滲透系統(tǒng)和所述第二反滲透系統(tǒng)，分別包括：第一反滲透膜、第二反滲透膜以及高壓水泵；所述高壓水泵設(shè)置在所述第一反滲透膜和所述第二反滲透膜之間；所述高壓水泵將所述第一反滲透膜處理后的水輸送到所述第二反滲透膜進(jìn)行處理。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述過濾系統(tǒng)，采用多介質(zhì)過濾器和/或者活性炭過濾器。
發(fā)明內(nèi)容
為解決上述問題，本申請實(shí)施例的目的在于提供一種半導(dǎo)體行業(yè)酸堿廢水的回收利用系統(tǒng)。
第一方面，本申請實(shí)施例提供了一種半導(dǎo)體行業(yè)酸堿廢水的回收利用系統(tǒng)，包括：依次連接的廢水回收模塊、回用水池、原水池、過濾模塊和凈化模塊；
所述廢水回收模塊，對酸堿廢水進(jìn)行處理，得到回用水，并將所述回用水輸送到所述回用水池；
所述回用水池，將回用水池輸送到所述原水池中；
所述原水池，能夠?qū)λ鲈刂械乃龌赜盟托迈r原水進(jìn)行均勻，得到混合自來水，并將得到的所述混合自來水輸送到所述過濾模塊中進(jìn)行過濾；
所述過濾模塊，能夠?qū)λ龌旌献詠硭M(jìn)行過濾，得到過濾后的混合自來水；
所述凈化模塊，能夠?qū)λ鲞^濾后的混合自來水進(jìn)行凈化，得到超純水。
本申請實(shí)施例上述第一方面提供的方案中，通過設(shè)置包括依次連接的廢水回收模塊、回用水池、原水池、過濾模塊和凈化模塊的半導(dǎo)體行業(yè)酸堿廢水的回收利用系統(tǒng)，對半導(dǎo)體企業(yè)處理后的廢水進(jìn)行處理，得到能夠回收利用的純水，與相關(guān)技術(shù)中半導(dǎo)體企業(yè)一般將廢水經(jīng)處理后排往城市污水處理廠的方式相比，可以對半導(dǎo)體企業(yè)處理后的廢水進(jìn)行處理并回收利用，減少環(huán)境污染的同時實(shí)現(xiàn)了廢水的資源化回收利用，具有綠色環(huán)保節(jié)能的優(yōu)點(diǎn)。
（發(fā)明人：曹海燕;陳爽;郝風(fēng)波）
