公布日：2023.09.05
申請日：2023.07.06
分類號：C02F9/00(2023.01)I;C02F1/66(2023.01)N;C02F1/52(2023.01)N;C02F1/00(2023.01)N;C02F1/76(2023.01)N
摘要
本申請?zhí)峁┮环N廢水回用處理工藝，步驟包括：收集生產(chǎn)廢水；對廢水進行中和及絮凝；使廢水中的絮凝物進行處理；再對廢水進行過濾，最終獲得合格的水液，以用于制作生產(chǎn)所用純水。本申請一種廢水回用處理工藝，可快速且穩(wěn)定地對廢水進行回收處理，并可保證廢液處理后的各項技術(shù)參數(shù)均符合生產(chǎn)所用的純水標準，提高廢水的利用率，節(jié)約水資源，降低生產(chǎn)成本。
權(quán)利要求書
1.一種廢水回用處理工藝，其特征在于，步驟包括：收集生產(chǎn)廢水；對廢水進行中和及絮凝；使廢水中的絮凝物進行處理；再對廢水進行過濾，最終獲得合格的水液，以用于制作生產(chǎn)所用純水。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種廢水回用處理工藝，其特征在于，所述收集生產(chǎn)廢水包括：收集生產(chǎn)廢水于原水槽中，并使從原水槽輸出的廢水的流量控制在20-30m3/h之內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種廢水回用處理工藝，其特征在于，所述對廢水進行中和及絮凝，包括：將廢水引入至反應槽中，并向反應槽中注入中和劑和絮凝劑，調(diào)整廢水中的濁度和色度，并生成基礎(chǔ)絮凝物。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種廢水回用處理工藝，其特征在于，所述中和劑包括氫氧化鈉和鹽酸；所述絮凝劑為聚氯化鋁。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種廢水回用處理工藝，其特征在于，廢水調(diào)整后的pH值為7-8.5；且所述絮凝劑的注入量為20-40ppm。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的一種廢水回用處理工藝，其特征在于，所述使廢水中的絮凝物進行處理，包括控制反應槽中的水液注入凝集槽中，并向凝集槽中注入懸浮助劑，以使絮凝物上��；廢水在所述凝集槽中停留的時間小于在所述反應槽中停留的時間。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種廢水回用處理工藝，其特征在于，還包括在所述凝集槽之后設(shè)置用于將絮凝物上浮的浮上槽，具體為：在所述浮上槽中注入加壓水，與所述凝集槽中的水液混合；控制加壓水的壓力降低，以產(chǎn)生微小氣泡附著在絮凝物上，形成水-氣-顆粒的三相混合體系，絮凝物帶著浮渣上浮；控制浮渣溢出所述浮上槽，并被外置的浮渣槽所收集。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-2、4-5、7任一項所述的一種廢水回用處理工藝，其特征在于，所述再對廢水進行過濾，包括依次在兩個中繼槽中對廢水進行過濾凈化，通過多層不同濾料的致密過濾層，在設(shè)定壓力下將水液中的剩余濁度濾浄；其中，所述濾料包括石英砂、細砂、無煙煤。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種廢水回用處理工藝，其特征在于，還包括：在所述中繼槽中加入次氯酸鈉進行殺菌；并對殺菌后的水液進行過濾去除，以獲取5μ以下顆粒的水液。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種廢水回用處理工藝，其特征在于，檢測水液中的懸浮物的含量，對于測得懸浮物的含量值小于1mg/L的水液，則可直接被用于制作生產(chǎn)所用純水；對于測得的懸浮物的含量值大于或等于1mg/L的水液，則直接排入至污水槽中。
發(fā)明內(nèi)容
本申請?zhí)峁┮环N廢水回用處理工藝，尤其是適用于硅片加工后的廢液處理回收，解決了現(xiàn)有技術(shù)中冷卻液臟水回收利用率低的技術(shù)問題。
為解決至少一個上述技術(shù)問題，本申請采用的技術(shù)方案是：
一種廢水回用處理工藝，步驟包括：
收集生產(chǎn)廢水；
對廢水進行中和及絮凝；
使廢水中的絮凝物進行處理；
再對廢水進行過濾，最終獲得合格的水液，以用于制作生產(chǎn)所用純水。
進一步的，所述收集生產(chǎn)廢水包括：收集生產(chǎn)廢水于原水槽中，并使從原水槽輸出的廢水的流量控制在20-30m3/h之內(nèi)。
進一步的，所述對廢水進行中和及絮凝，包括：將廢水引入至反應槽中，并向反應槽中注入中和劑和絮凝劑，調(diào)整廢水中的濁度和色度，并生成基礎(chǔ)絮凝物。
進一步的，所述中和劑包括氫氧化鈉和鹽酸；所述絮凝劑為聚氯化鋁。
進一步的，廢水調(diào)整后的pH值為7-8.5；且所述絮凝劑的注入量為20-40ppm。
進一步的，所述使廢水中的絮凝物進行處理，包括控制反應槽中的水液注入凝集槽中，并向凝集槽中注入懸浮助劑，以使絮凝物上��；廢水在所述凝集槽中停留的時間小于在所述反應槽中停留的時間。
進一步的，還包括在所述凝集槽之后設(shè)置用于將絮凝物上浮的浮上槽，具體為：
在所述浮上槽中注入加壓水，與所述凝集槽中的水液混合；
控制加壓水的壓力降低，以產(chǎn)生微小氣泡附著在絮凝物上，形成水-氣-顆粒的三相混合體系，絮凝物帶著浮渣上��；
控制浮渣溢出所述浮上槽，并被外置的浮渣槽所收集。
進一步的，所述再對廢水進行過濾，包括依次在兩個中繼槽中對廢水進行過濾凈化，通過多層不同濾料的致密過濾層，在設(shè)定壓力下將水液中的剩余濁度濾浄；其中，所述濾料包括石英砂、細砂、無煙煤。
進一步的，還包括：在所述中繼槽中加入次氯酸鈉進行殺菌；并對殺菌后的水液進行過濾去除，以獲取5μ以下顆粒的水液。
進一步的，檢測水液中的懸浮物的含量，對于測得懸浮物的含量值小于1mg/L的水液，則可直接被用于制作生產(chǎn)所用純水；對于測得的懸浮物的含量值大于或等于1mg/L的水液，則直接排入至污水槽中。
采用本申請設(shè)計的一種廢水回用處理工藝，可快速且穩(wěn)定地對廢水進行回收處理，并可保證廢液處理后的各項技術(shù)參數(shù)均符合生產(chǎn)所用的純水標準，提高廢水的利用率，節(jié)約水資源，降低生產(chǎn)成本。
（發(fā)明人：周藝妃;孫維帥;潘力;董雪麗;張晉英;譚永麟;孫晨光;王彥君）
